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摘要：	全球MEMS市场快速发展据市场调研公司Yole Development预测,2007年全球芯片级MEMS市场约达71亿美元,2008年将达78亿美元,2012年可望成长到140亿美元,2007～2012年间的年均增长率达到两位数,为14%。2007年
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