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| 以麦氏计校准电离计的动态平衡玻璃真空系统建立 | |
| 引用本文： | 李广顺,侯世儒,郝承祥.以麦氏计校准电离计的动态平衡玻璃真空系统建立[J].真空,1964(3). |
| 作者姓名： | 李广顺 侯世儒 郝承祥 |
| 作者单位： | 辽宁省机械研究所 (李广顺，侯世儒)，辽宁省机械研究所(郝承祥) |
| 摘 要： | 真空计校准工作,是真空测量技术的基本工作之一。尤其对高精度真空计校准问题,更有重要意义。在校准过程中不仅需要有高精度的绝对真空计,而对校准用真空系统的要求,也是重要的环节。本文就麦氏计校准热阴极电离真空计的动态平衡玻璃真空系统作以分析。力建立校准用真空系统,将对系统结构、性能、产生误差原因及减小误差方法进行讨论,以便确定系统误差。 一、真空系统结构选取择 对于校准用真空系统除具有。一定容量的抽气机组外,对如何保证绝对真空计与被校准的相对真空计,在某一时间内能达到相同条件,是考虑方案的前提。为了能做到这一点,… |
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