|
|||||
|
|
| 离子束辅助沉积技术 | |
| 作者姓名： | 李文治 |
| 作者单位： | 清华大学 |
| 摘 要： | 一、引言离子注入曾因在半导体产业中的巨大成功而名噪于世,但将此技术移植于一般材料(非半导体)的表面改性时却显得步履艰难。尽管早在10年前,人们已经宣称离子注入使某些材料的耐磨损性提高了3～5倍,也使抗腐性能大为改观。但将实验研究的成果真正推广应用并转化为生产力者尚属少见。诚然,离子注入技术有许多独特的优 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《中国表面工程》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《中国表面工程》下载全文 | |