机械科学的新边疆──微机电一体化技术

微机电一体化技术是介观物理、混沌物理、量子力学等科学和计算机、微电子、纳米技术及超微细加工等技术互相融合的先进科技,是２１世纪科学技术发展的前沿领域,介绍微机电一体化系统的概念、制造与应用及其需要深入研究的科研课题。