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| 环形固体背散射探测器的最佳检测距离 | |
| 引用本文： | 施明哲,马鑫.环形固体背散射探测器的最佳检测距离[J].电子显微学报,2003,22(6):648-649. |
| 作者姓名： | 施明哲 马鑫 |
| 作者单位： | 信息产业部电子五所,广东,广州,510610 |
| 摘 要： | 当入射电子与物质相互作用后又能返回表面逸出，则这部份原入射电子称为背散射电子。通常以能量小于50eV的电子称为二次电子，大于50eV而小于E0的电子称为背散射电子，用背散射电子来扫描成像所获得的图像称为背散射电子像。 |
| 关 键 词： | 环形固体背散射探测器 最佳检测距离 入射电子 背散射电子 基本原理 探测效率 工作距离 信噪比 扫描电子显微镜 |
Optimal detection distance of circular solid state BSE detector |
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| Keywords: | |
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