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非球面面形检测系统
摘    要:正由西安工业大学自行设计、研制的非球面面形检测系统是在横向剪切干涉的技术基础上,用压电陶瓷引入相移,通过采集卡和CCD获取系列剪切干涉条纹图像。经过计算机对系列扫描条纹图像的数学处理,实现了对光学非球面的快速、抗干扰、高精度测量。涵盖光

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