首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

Ⅱ-VI族半导体的掺杂与补偿
作者姓名:任天令  朱嘉麟
作者单位:清华大学微电子学研究所(任天令),清华大学现代应用物理系(朱嘉麟)
摘    要:采用离散变分局域密度泛函(DVLDF)方法及团簇模型研究了IIVI族半导体中的掺杂及补偿问题。研究了ZnSe中的N,P,As,F,Cl,Br等杂质不同的结构和电子性质。发现NSe在ZnSe中没有JahnTeler形变,而PSe和AsSe存在这一形变,从而判定N是其中最有效的p型掺杂剂。对于n型的ZnSe,研究发现Cl是最有效的施主杂质。根据对缺陷复合体的计算,发现NSeZnVSe及诸如NSeZnint的多N集团对于p型ZnSe的补偿有着重要作用。研究表明,对于ZnTe来说,Cl不是有效的施主杂质,而N是有效的受主杂质。

关 键 词:掺杂,补偿,II-VI族半导体
本文献已被 CNKI 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号