Ⅱ-VI族半导体的掺杂与补偿 |
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作者姓名: | 任天令 朱嘉麟 |
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作者单位: | 清华大学微电子学研究所(任天令),清华大学现代应用物理系(朱嘉麟) |
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摘 要: | 采用离散变分局域密度泛函(DVLDF)方法及团簇模型研究了IIVI族半导体中的掺杂及补偿问题。研究了ZnSe中的N,P,As,F,Cl,Br等杂质不同的结构和电子性质。发现NSe在ZnSe中没有JahnTeler形变,而PSe和AsSe存在这一形变,从而判定N是其中最有效的p型掺杂剂。对于n型的ZnSe,研究发现Cl是最有效的施主杂质。根据对缺陷复合体的计算,发现NSeZnVSe及诸如NSeZnint的多N集团对于p型ZnSe的补偿有着重要作用。研究表明,对于ZnTe来说,Cl不是有效的施主杂质,而N是有效的受主杂质。
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关 键 词: | 掺杂,补偿,II-VI族半导体 |
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