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| 光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计 | |
| 作者姓名： | 温众普 吴剑威 邢坤鹏 张银 李结安 谭久彬 |
| 摘 要： | 在光刻机可变狭缝系统(VS)中,紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构.研究表明,导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能.然而,微结构微米级变化对导轨性能的影响尚不清晰.文中采用作者提出的网格自适应法,定量研究了微结构四个参数的影响,揭示了微结构变化对导轨负载性能的影响规律,并利... |
| 关 键 词： | 光刻机 复合节流静压气浮导轨 微结构 工作点 转动刚度 |
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