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| 310RF放电中的四电极系统及其有关特性 | |
| 作者姓名： | 王又青 安承武 郑曙东 郭振华 |
| 作者单位： | 武汉激光技术国家重点实验室 |
| 摘 要： | ３１０ＲＦ放电中的四电极系统及其有关特性王又青，安承武，郑曙东，郭振华（武汉激光技术国家重点实验室，４３００７４）本文详细介绍了ＲＦ放电中的四电极系统，并对其纵向电位分布、横截面上的电场分布及有关放电特性进行了深入的探讨。310RF放电中的四电极系统及其?.. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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