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Properties of GaSb Substrate Wafers for MOCVD Ⅲ-Ⅴ Antimonids
作者姓名:彭瑞伍  丁永庆  徐晨梅  王占国
作者单位:Peng Ruiwu,Ding Yongqing and Xu ChenmeiShanghai Institute of Metallurgy,Chinese Academy of Sciences,Shanghai 200050,China Wang ZhanguoInstitute of Semiconductors,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100083,China
摘    要:1IntroductionTheGaSbsinglecrystalsareoftenusedasthesubstratematerialsforpreparingepilayersoflightemitingandlightdetectingd...

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