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| 碳化硅切割刃料圆形度控制技术研究 | |
| 摘 要： | 碳化硅切割刃料的圆形度对晶硅片线切割有着重要影响。对高压辊磨法制备碳化硅微粉过程中影响圆形度的因素进行理论分析和实验研究,分别研究了亚微粉(Ф≤2μm)含量、碳化硅纯度、1#分级机转速和磨辊磨损四个因素对圆形度的影响。探讨了降低微粉圆形度,并稳定圆形度指标的方法,能够获得具有较多棱角颗粒的低圆形度微粉,对提高碳化硅微粉的工业价值和经济价值,提高晶硅片切割效率,具有重要意义。 |
Research on Controlling Techniques of SiC Powder Circularity |
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