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高速响应碳化硅薄膜热敏电阻
作者姓名:王保华 张伟祖
摘    要:将氧化铝基板表面高频溅射碳化硅薄膜而构成的热敏电阻芯片焊接在一端封口的圆柱金属外壳内,能够探测温度的热时间常数大约为0.6秒。

关 键 词:碳化硅 热敏电阻 薄膜
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