| 基于反射光栅的超精密定位系统研究 |
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| 引用本文： | 张金龙.基于反射光栅的超精密定位系统研究[J].光电子．激光,2010(1):70-73. |
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| 作者姓名： | 张金龙 |
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| 作者单位： | 南京师范大学电气与自动化工程学院;东南大学自动控制系;日本爱知工业大学智能机械工学科; |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划“863”资助项目(2005AA303610);;江苏省自然科学基金资助项目(BK2009406) |
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| 摘 要： | 应用光学理论研究了一种μm级位移分辨率的反射型双级光栅测量系统,建立了反射莫尔信号与对应位移的数学模型,通过计算机仿真分析了反射莫尔信号的位移特性,进而设计了一套基于反射光栅的精密定位系统。系统取反射的0次激光莫尔信号为控制信号,由微机控制实现高精度位置检测及超精密自动定位;采用的修正莫尔技术,极大地提高了位置检测信号的灵敏度及定位精度;通过粗定位和精定位相结合的两段式复合定位,实现高速高精度定位。实验结果表明,基于反射光栅的精密定位系统可获得±10nm的定位精度。
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| 关 键 词： | 反射光栅 莫尔信号 修正莫尔技术 精密定位 复合控制 |
Research on ultra-precision alignment system using reflective gratings |
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| ZHANG Jin-long.Research on ultra-precision alignment system using reflective gratings[J].Journal of Optoelectronics·laser,2010(1):70-73. |
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| Authors: | ZHANG Jin-long |
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| Affiliation: | 1.College of Electrical and Automatic Engineering;Nanjing Normal University;Nanjing 210042;China;2.Automation College;Southeast University;Nanjing 210096;3.Department of Intelligent Machinery Engineering;Aichi Institute of Technology;Toyoda 470-0392;Japan |
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| Abstract: | A nano-displacement measurement system with reflection duo-gratings is analyzed by using optics theory,a mathematic model for the system is established,and the characteristic of laser Moiré signals is studied through CAD simulation.A precise position device using double reflecting gratings is designed,which can achieve precise position measurement and automatic precision alignment by the Moiré signal.The modified Moiré positioning technique is used,which greatly improves the sensitivity of posit... |
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| Keywords: | reflective gratings Moiré signals modified Moiré technique precision alignment compound control |
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