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| 氦氖激光器中的阴极溅射 | |
| 作者姓名： | 胡志强 |
| 作者单位： | 清华大学无线电电子学系 |
| 摘 要： | 发生正常阴极溅射的条件首先要选用廉价的铝阴极材料。我们用国产99.99％高纯铝制作的氦氖管已经正常工作25000小时以上。阴极结构设计合理,才能保证整批氦氖管发生正常阴极溅射。激光管制造工艺特别关键,必须使整个铝阴极表面状况均匀一致,氧化适当,十分清洁。才不致出现局部的异常辉光放电。此外,还应保持激光管工作电流正常,不要过大。长时间正常溅射阴极表面的结构特点 |
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