| 化学气相沉积难熔金属钼组织性能的研究 |
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| 引用本文： | 王从曾,马捷,毕安园,周美玲.化学气相沉积难熔金属钼组织性能的研究[J].材料热处理学报,2005,26(3):51-53. |
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| 作者姓名： | 王从曾 马捷 毕安园 周美玲 |
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| 作者单位： | 北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京,100022;北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京,100022;北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京,100022;北京工业大学材料科学与工程学院,功能材料教育部重点实验室,北京,100022 |
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| 基金项目： | 国家“863”计划项目（2003AA305990） |
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| 摘 要： | 介绍了化学气相沉积法制备难熔金属钼膜层的原理和方法。以MoF6和H2为原料，采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钼膜层。分析研究了沉积层的组织、结构和硬度。实验结果表明：沉积膜层显微组织随沉积温度变化而不同，沉积温度较低时沉积层显微组织为细晶层状结构，沉积层硬度可达677HV；沉积温度较高时沉积层显微组织为致密的柱状晶，硬度稍高于一般烧结钼。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 钼 显微组织 |
| 文章编号： | 1009-6264（2005）03-0051-03 |
| 收稿时间： | 2005-03-26 |
| 修稿时间： | 2005-03-26 |
Microstructures and Properties of Molybdenum Coating Prepared by Chemical Vapor Deposition |
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| WANG Cong-zeng,MA Jie,BI An-yuan,ZHOU Mei-ling.Microstructures and Properties of Molybdenum Coating Prepared by Chemical Vapor Deposition[J].Transactions of Materials and Heat Treatment,2005,26(3):51-53. |
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| Authors: | WANG Cong-zeng MA Jie BI An-yuan ZHOU Mei-ling |
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| Abstract: | This paper presents the principle and method of chemical vapor depositing molybdenum. Molybdenum coating is deposited on copper substrates from the mixture of MoF_6 and H_2. The microstructures and microhardness of the deposits are analyzed.The results show that the microstructures change with the variation of deposition temperature. The microstructures of deposited layer present a fine grains multilayered structure with a microhardness as high as 677HV at relatively low deposition temperatures, while a compact columnar crystals microstructure is obtained at higher deposition temperatures. |
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| Keywords: | chemical vapor deposition molybdenum microstructures |
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