首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

硅掺杂类金刚石薄膜微米尺度摩擦性能研究
引用本文:刘翊,范真,丁建宁,凌智勇,程广贵,蒋楠楠. 硅掺杂类金刚石薄膜微米尺度摩擦性能研究[J]. 功能材料, 2010, 41(5)
作者姓名:刘翊  范真  丁建宁  凌智勇  程广贵  蒋楠楠
作者单位:1. 江苏大学,微纳米科学技术研究中心,江苏,镇江,212013
2. 江苏大学,微纳米科学技术研究中心,江苏,镇江,212013;江苏技术师范学院,江苏,常州,213001
3. 江苏大学,微纳米科学技术研究中心,江苏,镇江,212013;江苏工业学院,低维材料微纳器件与系统研究中心,江苏,常州,213164;常州市新能源工程重点实验室,江苏,常州,213164
摘    要:采用微米级别的AFM球头探针对硅掺杂类金刚石薄膜进行了摩擦实验。研究了微米尺度下,外加载荷和扫描速率对薄膜摩擦性能的影响。考虑粘附的影响,提出了适用于微观低载荷接触摩擦力表征的修正Amonton公式。分析了摩擦系数与表面形貌粗糙峰之间的关系,根据薄膜表面粗糙峰的分布,建立了微米尺度下球头探针与薄膜表面粗糙峰的等效接触模型,并推导出了摩擦力f关于载荷参数(p)和形貌参数()的函数表达式f(p,),表明单位面积接触粗糙峰密度对摩擦力大小起着主导作用。所建接触模型成功解释了摩擦实验现象产生的原因。

关 键 词:硅掺杂类金刚石薄膜  球头探针  微米尺度  接触模型

Analysis of friction properties of silicon-doped diamond-like carbon thin films in micro-meter scale
LIU Yi,FAN Zhen,DING Jian-ning,LING Zhi-yong,CHENG Guang-gui,JIANG Nan-nan. Analysis of friction properties of silicon-doped diamond-like carbon thin films in micro-meter scale[J]. Journal of Functional Materials, 2010, 41(5)
Authors:LIU Yi  FAN Zhen  DING Jian-ning  LING Zhi-yong  CHENG Guang-gui  JIANG Nan-nan
Abstract:
Keywords:
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号