| 超声雾化气相沉积法制备ZnO薄膜 |
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| 引用本文： | 温媛,杨成韬,张树人.超声雾化气相沉积法制备ZnO薄膜[J].压电与声光,2007,29(3):311-314. |
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| 作者姓名： | 温媛 杨成韬 张树人 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,电子薄膜与集成器件重点实验室,四川,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用超声雾化气相沉积工艺,以醋酸锌水溶液为前驱体溶液,在SiO2/Si衬底上成功的制备出ZnO薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对所得ZnO薄膜的晶体结构和微观形貌进行分析,发现随着衬底温度升高,ZnO薄膜c轴取向趋势增强,表面趋于光滑平整。研究表明,在前驱体溶液浓度为0.1 mol/L,衬底温度为320℃,载气流量为0.1 L/min,喷口到衬底的距离为60 cm、沉积30 min的实验条件下,生长出的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构,且具有的高度c轴取向。
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| 关 键 词： | 氧化锌 薄膜 超声雾化 |
| 文章编号： | 1004-2474（2007）03-0311-04 |
| 修稿时间： | 2006-03-04 |
Study of ZnO Thin Films Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis |
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| WEN Yuan,YANG Cheng-tao,ZHANG Shu-ren.Study of ZnO Thin Films Prepared by Ultrasonic Spray Pyrolysis[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2007,29(3):311-314. |
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| Authors: | WEN Yuan YANG Cheng-tao ZHANG Shu-ren |
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| Affiliation: | Key Lab of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | zinc oxide thin film ultrasonic spray pyrolysis(USP) |
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