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热红外探测器及红外焦平面列阵
引用本文:
高.热红外探测器及红外焦平面列阵[J].红外,2006,27(6):5-5.
作者姓名:
高
摘 要:
本发明提供一种热红外探测器,它由衬底、温度传感器、隔热支撑腿以及红外吸收层等构成。其温度传感器的电学特性是随由红外吸收引起的温度变化而变化的;其隔热支撑腿用于支撑温度传感器并充当用于凄出温度传感器电信号的信号线;红外吸收层则是与温度传感器热接触的。温度传感器、隔热支撑腿及红外吸收膜各自都处在一个不同的平面中,而这些平面在空间上都是互相分开的。
关 键 词:
红外焦平面列阵
热红外探测器
温度传感器
支撑腿
温度变化
红外吸收
电学特性
吸收层
隔热
信号线
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