光纤传感器的新家族——SOMET元件 |
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引用本文: | 夏建弘.光纤传感器的新家族——SOMET元件[J].仪器仪表与分析监测,1988(2). |
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作者姓名: | 夏建弘 |
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作者单位: | 清华大学 |
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摘 要: | 引言最近几年来,人们总企图把光纤传感器和电路集成在一块基片上,于是提出了一种SOMET元件。它的全名为“Senso-OptoMirco-Electronic Device”(敏感光微电子元件),它的基本设想是使导光元件不用玻璃,而用半导体,这样,导光元件就成为集成电路中的一个部件。 SOMET元件能使物理量(如:pH值,离子浓度,气体浓度,压力,加速度)的变化转换成光强的变化。本文将介绍下列内容:
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