| 用QCM研究HMDS处理纳米ZnO的湿度测试对比 |
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| 引用本文： | 吕家云,张健,蒋全胜,许磊.用QCM研究HMDS处理纳米ZnO的湿度测试对比[J].仪表技术与传感器,2009(8). |
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| 作者姓名： | 吕家云 张健 蒋全胜 许磊 |
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| 作者单位： | 1. 巢湖学院物理系,安徽巢湖,238000
2. 华东师范大学电子科学技术系,上海,200062 |
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| 基金项目： | 上海市浦江人才计划项目，传感器国家重点实验室开放项目 |
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| 摘 要： | 基于QCM的气体传感器具有灵敏度高、结构简单等优点,是有潜力的气体传感器.但是,存在着选择性差的问题,而工作过程环境气体因素,如水蒸汽、有机挥发性气体(VOCs)等的影响,是必须解决的问题.首先,以石英晶体微天平传感器(QCM)为测试平台,研究以纳米ZnO作为敏感膜的湿度检测敏感特性.实验结果表明:纳米氧化锌作为敏感膜,在一定的湿度范围内有很高的灵敏度和重复性.其次,用六甲基二硅胺烷(Hexamethyl disilazane,HMDS)对纳米ZnO膜进行处理时发现,与未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比较,该纳米ZnO对湿度的响应敏感度明显降低,特别是在高湿度时.进一步的研究发现,用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体,如乙醇仍有很好的响应.该种特性可以被用来开发对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器.
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| 关 键 词： | 石英晶体微天平 相对湿度 纳米氧化锌 乙醇 六甲基二硅胺烷 |
Humid Test Comparision of Nano ZnO with HMDS on the QCM |
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| L Jia-yun,ZHANG Jian,JIANG Quan-sheng,XU Lei.Humid Test Comparision of Nano ZnO with HMDS on the QCM[J].Instrument Technique and Sensor,2009(8). |
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| Authors: | L Jia-yun ZHANG Jian JIANG Quan-sheng XU Lei |
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| Affiliation: | L(U) Jia-yun,ZHANG Jian,JIANG Quan-sheng,XU Lei |
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