| WO_3-SiO_2复合薄膜的烧结温度–相组成–气敏特性关系 |
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| 引用本文： | 周玉贵,季惠明,李晓雷,梁辉,徐明霞.WO_3-SiO_2复合薄膜的烧结温度–相组成–气敏特性关系[J].硅酸盐学报,2010,38(6). |
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| 作者姓名： | 周玉贵 季惠明 李晓雷 梁辉 徐明霞 |
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| 作者单位： | 天津大学材料学院,先进陶瓷及加工技术教育部重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 日本Sheet Glass材料科学与工程基金 |
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| 摘 要： | 以钨酸和正硅酸乙酯(tetraethyl orthosilicate,TEOS)为原料,采用改进的溶胶–凝胶工艺,在Al2O3基底上制备WO3–SiO2复合薄膜,重点考查复合薄膜的烧结温度、物相组成及气敏性三者之间关系。用X射线粉末衍射仪和场发射扫描电子显微镜表征复合薄膜的微观结构,结果表明:在烧结温度为500℃与650℃时,复合薄膜为立方相和正交相混合相,复合薄膜的晶粒尺寸为25～30nm,分布均匀。650℃烧结时,对还原性挥发性有机化合物(volatileorganiccompounds,VOCs)气体中丙酮具有较好的敏感性。750℃烧结时,复合薄膜只有单一的正交相,晶粒尺寸在30nm左右,此时复合薄膜对氧化性气体NO2具有很好的敏感性与选择性,最低响应浓度(体积)为10–7,响应时间为2s,恢复时间约为10s。
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| 关 键 词： | 氧化钨-二氧化硅复合薄膜 气敏性能 溶胶-凝胶 丙酮 二氧化氮 |
RELATIONSHIPS AMONG SYNTHESIS TEMPERATURES AND PHASES COMPOSITION AS WELL AS GAS SENSING PROPERTIES OF WO3-SiO2 COMPOSITE FILMS |
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| ZHOU Yugui,JI Huiming,LI Xiaolei,LIANG Hui,XU Mingxia.RELATIONSHIPS AMONG SYNTHESIS TEMPERATURES AND PHASES COMPOSITION AS WELL AS GAS SENSING PROPERTIES OF WO3-SiO2 COMPOSITE FILMS[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2010,38(6). |
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| Authors: | ZHOU Yugui JI Huiming LI Xiaolei LIANG Hui XU Mingxia |
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