| 基于ANSYS的平面电容传感器阵列三维仿真研究 |
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| 引用本文： | 刘泽良,温银堂,梁希,李慧剑.基于ANSYS的平面电容传感器阵列三维仿真研究[J].传感器与微系统,2016(4):45-48. |
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| 作者姓名： | 刘泽良 温银堂 梁希 李慧剑 |
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| 作者单位： | 1. 燕山大学建筑工程与力学学院,河北秦皇岛,066004;2. 燕山大学电气工程学院,河北秦皇岛,066004 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金青年科学基金资助项目(61403333) |
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| 摘 要： | 通过电磁场有限元分析软件ANSYS,构建了电容层析成像(ECT)系统平面3×4电容传感器阵列三维模型.介绍了平面电容传感器阵列结构并分析了其测量原理.对电容进行了仿真计算.仿真与实验进行了对比,证明了仿真模拟的可行性.通过仿真计算电容值,研究了材料与电极间距和材料厚度对电容值的影响.计算了电极对长度和宽度方向的检测深度.通过ANSYS模拟,为损伤检测的特征提取和逆问题图像重构提供了仿真数据.
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| 关 键 词： | ANSYS 平面电容传感器阵列 三维仿真 |
Three-dimensional simulation study of planar capacitive sensor array based on ANSYS |
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| LIU Ze-liang,WEN Yin-tang,LIANG Xi,LI Hui-jian.Three-dimensional simulation study of planar capacitive sensor array based on ANSYS[J].Transducer and Microsystem Technology,2016(4):45-48. |
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| Authors: | LIU Ze-liang WEN Yin-tang LIANG Xi LI Hui-jian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ANSYS planar capacitive sensor array three-dimensional simulation |
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