| 聚合物双层微悬臂梁传感器光热激励的特性及模拟优化 |
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| 引用本文： | 白英良,韩立. 聚合物双层微悬臂梁传感器光热激励的特性及模拟优化[J]. 仪表技术与传感器, 2009, 0(3) |
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| 作者姓名： | 白英良 韩立 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院电工研究所,北京,100080 |
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| 摘 要： | 文中研究了聚合物基双层悬臂梁在光强和温度变化的激励下的挠度特性,并利用建立的数学模型通过采用Matlab程序进行了模拟和优化.实验得出:在热激励下聚合物(PMMA)悬梁镀金以及悬梁和金属膜厚度比值为0.1时最优化;在光激励下聚合物悬梁镀铬以及悬梁和金属膜厚度比值为0.03时最优化.研究为制作聚合物双层传感器的研制提供了理论分析和优化设计的基础.
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| 关 键 词： | 聚合物基双层微悬臂梁 光热激励 特性研究 仿真优化 |
Performance and Optimization of Bi-material Polymeric-based Micro-cantilever Excited by Light and Heat |
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| BAI Ying-liang,HAN Li. Performance and Optimization of Bi-material Polymeric-based Micro-cantilever Excited by Light and Heat[J]. Instrument Technique and Sensor, 2009, 0(3) |
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| Authors: | BAI Ying-liang HAN Li |
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