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| 纳米金刚石TiV色心的实验制备与性能研究 | |
| 作者姓名： | 谭心 徐宏飞 孟可可 |
| 作者单位： | 内蒙古科技大学 机械工程学院,包头 014010 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(61765012);国家重点研究开发项目(2017YFF0207200、2017YFF0207203);内蒙古自然科学基金(2019MS05008);内蒙古自治区科技创新指导项目(2017CXYD-2、KCBJ2018031) |
| 摘 要： | 目的 利用磁控溅射辅助微波等离子体化学气相沉积技术制备钛掺杂纳米金刚石薄膜.方法 预先通过磁控溅射在石英玻璃基底上沉积纳米钛颗粒,然后使用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备在其表面沉积金刚石薄膜,通过活性氢原子将钛带入含碳生长基团中,从而将钛掺入纳米金刚石薄膜内.使用X射线光电子能谱(XPS)、拉曼光谱(Ram... |
| 关 键 词： | 磁控溅射 化学气相沉积 钛掺杂金刚石 色心 光致发光 |
| 收稿时间： | 2021-04-16 |
| 修稿时间： | 2021-08-09 |
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