| 小孔径超精测量方法的研究 |
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| 引用本文： | 赵辉,浦昭邦,刘国栋,韩德东. 小孔径超精测量方法的研究[J]. 激光杂志, 2000, 21(6): 28-29 |
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| 作者姓名： | 赵辉 浦昭邦 刘国栋 韩德东 |
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| 作者单位： | [1]上海交通大学,上海 [2]哈尔滨工业大学,哈尔滨 |
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| 摘 要： | 孔径的超精测量，一直是长度计量中的难点。本文提出和种采用双频激光干涉技术和微位移微瞄准技术实现的小孔孔径超精测量系统，可在８～５０ｍｍ的范围内实现０．０１μｍ的分辨力和０．１μｍ的测量精度，为国际领先水平，该方法已成功应用在惯性仪表零件孔及垂直度的超精测量中，达到了满足的效果。
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| 关 键 词： | 微位移微瞄准 孔径 超精测量 长度计量 激光干涉 |
Research on the ultra-precision measuring method of diameter of small aperture |
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| Zhao Hui,Pu Zhaobang,Liu Guodong,Han Dedong. Research on the ultra-precision measuring method of diameter of small aperture[J]. Laser Journal, 2000, 21(6): 28-29 |
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| Authors: | Zhao Hui Pu Zhaobang Liu Guodong Han Dedong |
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