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| 微波ECR等离子体材料加工技术研究 | |
| 作者姓名： | 叶超 |
| 作者单位： | 苏州大学物理科学与技术学院 |
| 摘 要： | 微波电子回旋共振等离子体技术近年在薄膜沉积、材料改性和有机高分子材料聚合等材料加工领域获得了广泛的应用与快速发展，本结合近期的主要研究结果对此作一介绍。 |
| 关 键 词： | 微波等离子体 材料加工 电子回旋共振 薄膜沉积 |
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