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| 表面粗糙度三维测量和评定的研究 | |
| 引用本文： | 张也晗,崔彤,张扬,王俊秋. 表面粗糙度三维测量和评定的研究[J]. 计量与测试技术, 2012, 39(11): 31-32,34 |
| 作者姓名： | 张也晗 崔彤 张扬 王俊秋 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,黑龙江哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 本文论述了应用相移干涉原理测量三维表面粗糙度，给出了测量系统的组成，实现相移的微位移器件压电陶瓷应用，三维表面粗糙度评定参数的确定。 |
| 关 键 词： | 三维表面粗糙度 相移干涉 压电陶瓷 |
Research of Surface Roughness Three-dimensional Measurement and Evaluation |
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