大面积a—Si：H太阳能电池薄膜均匀性的研究

本文对３０５×９１５ｍｍ规格单结ａ－Ｓｉ：Ｈ太阳能电池进行切割分析，指出同块电池上下同区域的“子电池”的电性能差异以及ａ－Ｓｉ：Ｈ太阳能电池在制造过程中产生这种不均匀性的工艺设备因素，最后提出改进措施，以提高大面积ａ－Ｓｉ：Ｈ太阳能电池的成膜质量。