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| 液晶玻璃基板表面及内部缺陷检测设备光学原理 | |
| 作者单位： | ;1.东旭集团有限公司 |
| 摘 要： | 液晶玻璃基板厂家向下游厂家供货时,所供玻璃必须经过严格的品质检测。品质检测中很重要的一项是玻璃表面及内部缺陷的检测,检测项目包括缺陷在玻璃厚度方向的位置、尺寸、种类,自动检测设备根据这些检测出的缺陷特征来判断玻璃的品质优劣。本文分析了检测设备不同的光源和相机布置条件下,玻璃不同位置缺陷的光学成像结果的不同,为检测设备的研发提供参考。 |
| 关 键 词： | 液晶玻璃基板 玻璃缺陷 检测设备 光学成像 |
The Optical Principle of Inspection Machine for TFT-LCD Glass Surface and Inner Defects |
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