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| 可靠性问题讲座——第七讲 设计与工艺中的可靠性考虑(上) | |
| 摘 要： | 半导体器件可靠性的提高取决于以下因素:合理的设计方案、先进的工艺措施、严格的质量控制、适当的筛选程序、及时的失效分析及反馈等。这一讲我们讨论通过设计及工艺措施改进器件的可靠性,包括失效分析中提出的纠正措施在设计与工艺中的实施。重点涉及双极集成电路;因平面晶体管及MOS电路与其基本工艺是相同的。一、设计中的可靠性考虑 1.结构设计(包括引线的材料及方案选择、芯片到管壳的组装方法、管壳种类等) 当有缺陷的芯片已被剔除后,结构特性对器件在电应力和环境应力下的性能起着决定作用。结构设计需要考虑电学、热学及机械性能是否满足高可靠性的要求,对于小功率管和一般集成电路,功率在毫瓦范围,结温由适当的管壳散热来控制,在设计中只需要计算电参数要求,结构根据可靠性的要求适当选择即可。对于大功率器件,功率在数 |
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