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双束共蒸发制备Fe-Cu包埋团簇
引用本文:王浩,赵子强,钟运成,韦伦存,卢希庭.双束共蒸发制备Fe-Cu包埋团簇[J].微细加工技术,1996(1).
作者姓名:王浩  赵子强  钟运成  韦伦存  卢希庭
作者单位:北京大学重离子物理研究所
基金项目:中国博士后科学基金,国家自然科学基金
摘    要:基于气体聚集(GA)形成团簇的过程,利用双束蒸发共沉积方法,在室温下成功地制备了Fe-Cu纳米磁性包埋团簇样品。对样品的TEM/ED分析表明,平均直径为20nm左右的Fe团簇被Cu原子所包裹,形成了以Fe团簇为芯,Cu原子为壳的良好的芯-壳式包埋结构。

关 键 词:包埋团簇  双束蒸发  磁记录材料

BI-BEAM CO-EVAPORATION OF Fe-Cu EMBEDDED CLUSTERS
Wang Hao,Zhao Ziqiang, Zhong Yuncheng,Wei Luncun, Lu Xiting.BI-BEAM CO-EVAPORATION OF Fe-Cu EMBEDDED CLUSTERS[J].Microfabrication Technology,1996(1).
Authors:Wang Hao  Zhao Ziqiang  Zhong Yuncheng  Wei Luncun  Lu Xiting
Abstract:Based on Gas-Aggregation (GA) process, nanometer size Fe-Cu embedded clusters are produced by bi-beam co-evaporation method at room temperature. TEM/ED investigation shows that Fe clusters about 20urn in diameter are embedded in Cu matrix, and the core--shell structure with Fe cluster being the core and Cu atoms being the shell is well formed in so-prepared specimens.
Keywords:embedded cluster  bi-beam co-evaporation
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