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| TiN薄膜的阳极氧化 | |
| 作者姓名： | 张凯 李辉勤 |
| 作者单位： | 北京科技大学 |
| 摘 要： | 对ＴｉＮ薄膜进行阳极氧化处理，在ＴｉＮ表面形成了一层氧化。氧化膜呈干涉色，其颜色随槽压变化；氧化膜色调均匀、耐磨性较好。ＸＰＳ及ＡＥＳ分析结果表明，氧化膜由ＴｉＯ２组成，在槽压为９Ｖ时膜厚为９０ｎｍ。 |
| 关 键 词： | 阳极氧化 耐磨性 氮化钛 薄膜 氧化 薄膜 |
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