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| 英诺推出耐等离子辐照的聚酰亚胺高功能塑料 | |
| 摘 要： | 正英诺(上海)工程塑料有限公司向微电子行业客户推出一款牌号为N-140的聚酰亚胺(PI)材料。该款材料耐等离子气体辐照,综合性能优良,可满足半导体制造工序中对原材料的苛刻要求。经过改良配方后的N-140牌号聚酰亚胺具有更好的耐等离子辐射及耐高温性能;在等离子气体腐蚀下更低的分解性,对晶圆造成的污染更小;其他性能如强度、绝缘性、耐磨性亦有不错的表现。这款材料主要用在半导体前工序干法刻蚀领域及一些高端设备上的零配件;现已批量应用在国内的大型FAB企业及先进的半 |
| 关 键 词： | 等离子气体 制造工序 微电子行业 干法刻蚀 高温性能 离子辐射 高端设备 离子辐照 功能塑料 分解性 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |