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基于线阵电荷耦合元件静态光场式时栅位移传感器研究
引用本文:付敏,彭东林,鲁进,陈锡侯,郑方燕,谢莉.基于线阵电荷耦合元件静态光场式时栅位移传感器研究[J].机械工程学报,2015(4).
作者姓名:付敏  彭东林  鲁进  陈锡侯  郑方燕  谢莉
作者单位:1. 重庆大学机械传动国家重点实验室 重庆 400044
2. 重庆大学机械传动国家重点实验室 重庆 400044; 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心 重庆 400054
3. 重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心 重庆 400054
4. 湖南人文科技学院信息科学与工程系 娄底 417000
基金项目:国家自然科学基金,国家高技术研究发展计划,重庆市“两江学者”计划、重庆市教委科学技术研究,湖南省科技计划(2013GK3109)资助项目。
摘    要:延续前期关于磁场式和电场式时栅位移传感器的研究基础,根据时栅传感器的设计思想,提出并分析光场式时栅传感器的测量原理及实现方案。探索性地提出在静态光场下,用时序驱动的光电探测器构成匀速扫描测量方式,实现将被测对象的空间位移测量转换为时间差的测量。为了验证方案的可行性,用多个线阵电荷耦合元件(Charge-coupled device,CCD)构成圆阵列,实现CCD时栅原理样机设计。将相邻CCD输出信号的时间差变化量与匀速扫描的速度值相乘,经过适当的转换便可得到转轴的角位移大小,并可以判断位移的方向。所研制的原理样机,通过与精度为±1″的圆光栅(ROD880)对比测量,在整周范围内,测量误差控制在±6°以内。为光场式时栅的进一步研究,提供了可靠的理论和实践依据。

关 键 词:光电式传感器  时栅  电荷耦合元件  位移测量

Study on the Time-grating Displacement Sensor of the Static Light Field Type Based on Linear Charge-coupled Device
FU Min,PENG Donglin,LU Jin,CHEN Xihou,ZHENG Fangyan,XIE Li.Study on the Time-grating Displacement Sensor of the Static Light Field Type Based on Linear Charge-coupled Device[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2015(4).
Authors:FU Min  PENG Donglin  LU Jin  CHEN Xihou  ZHENG Fangyan  XIE Li
Abstract:
Keywords:photoelectric sensors  time-grating  charge-coupled device(CCD)  displacement measurement
本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录!
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