| UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究 |
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| 引用本文： | 张晔,陈迪,潘欣欣,方华斌,朱军,刘景全.UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究[J].微细加工技术,2005(4):69-75. |
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| 作者姓名： | 张晔 陈迪 潘欣欣 方华斌 朱军 刘景全 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家科技部863项目资助（2004AA404260） |
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| 摘 要： | 利用SU-8光刻胶UV—LIGA技术制备了双层微齿轮，齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线：两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸，均成功地制备出了双层微齿轮，并讨论了三种工艺路线各自的适用范围，即两次电铸工艺路线适用于对机械强度要求不高的各类多层微结构器件，一次电铸工艺路线适用于对机械强度要求较高的结构，其中溅射种子层工艺适用于深宽比较小的多层微结构模具，而直接电铸工艺适用于深宽比较大且层间直径相差较小的多层微结构器件。
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| 关 键 词： | UV-LIGA技术 SU-8胶 双层微齿轮 |
| 文章编号： | 1003-8213（2005）04-0069-07 |
| 收稿时间： | 2005-04-26 |
| 修稿时间： | 2005-07-26 |
Process Study of Fabricating Bi-layer Micro Gears through UV-LIGA Technique |
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| ZHANG Ye,CHEN Di,PAN Xin-xin,FANG Hua-bin,ZHU Jun,LIU Jing-quan.Process Study of Fabricating Bi-layer Micro Gears through UV-LIGA Technique[J].Microfabrication Technology,2005(4):69-75. |
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| Authors: | ZHANG Ye CHEN Di PAN Xin-xin FANG Hua-bin ZHU Jun LIU Jing-quan |
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| Affiliation: | National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology, Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education, Institute of Micro and Nano Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | UV-LIGA SU-8 bi-layer micro gears |
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