| 32×32长波红外焦平面器件研制和室温目标红外热图像 |
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| 引用本文： | 张勤耀,何力.32×32长波红外焦平面器件研制和室温目标红外热图像[J].红外与激光工程,1997,26(3):27-30. |
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| 作者姓名： | 张勤耀 何力 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理所!上海，200083，中国科学院上海技术物理所!上海，200083，中国科学院上海技术物理所!上海，200083，中国科学院上海技术物理所材料中心!上海，200083，中国科学院上海技术物理所材料中心!上海，200083 |
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| 摘 要： | 文章介绍了32×32元长波碲镉汞混成焦平面器件研制及室温目标红外热成像演示。该器件采用MBE碲镉汞薄膜材料、全平面离子注入成结工艺、Si－CMOS读出电路、倒焊互联混成、背照工作模式。所研制的32×32元碲镉汞长波焦平面器件获得了突破性进展，最新结果为Dλ*＞1×1010cmHz1／2W－1，响应率不均匀性为12．4％，有效像元＞98％，NETD约为0．1K（FOV＝60°），响应波长8～10μm。该器件实现了室温目标红外热成像。该项工作处于国内领先水平。在研制过程中解决了一系列关键问题，为研制更大规模的红外焦平面器件奠定了坚实的技术基础。
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| 关 键 词： | 焦平面器件 热成像 设备 |
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