| 大面积多元PbS探测器均匀度研究 |
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| 引用本文： | 赵崇花. 大面积多元PbS探测器均匀度研究[J]. 红外与激光工程, 1997, 26(2): 40-44 |
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| 作者姓名： | 赵崇花 |
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| 作者单位： | 航天工业总公司二院二十五所!北京，100854 |
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| 摘 要： | 介绍了研制的大面积多元PbS红外探测器的各项技术指标，叙述了PbS膜的微区分析、PbS光敏膜的制备、PbS光敏图形的刻蚀等几个关键工艺技术的研究情况，说明了大面积多元PbS探测器的研制水平。
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| 关 键 词： | 红外探测器 光敏传感器 薄膜器件 均匀性 硫化铅 |
THE UNIFORMITY OF A MULTIELEMENT PbS DETECTOR |
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| Zhao Chonghua. THE UNIFORMITY OF A MULTIELEMENT PbS DETECTOR[J]. Infrared and Laser Engineering, 1997, 26(2): 40-44 |
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| Authors: | Zhao Chonghua |
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| Abstract: | The technical index of multielement PbS infrared detector is descrital in this paper as well as the technique process of microdomain analysis, fabrication, pattern etching, etc. |
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| Keywords: | Infrared detector Light sensitive sensor Thin film device Homogeneity PbS |
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