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MOCVD生长前的衬底处理实验研究

引用本文：	刘国军,徐莉.MOCVD生长前的衬底处理实验研究[J].长春光学精密机械学院学报,1993,16(4):58-60.

作者姓名：	刘国军徐莉

摘要：
关键词：	衬底金属有机化合物气相淀积试验
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