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| 金属互连线电迁移过程中的高温蠕变行为研究 | |
| 作者单位： | ;1.上海理工大学教育部微创医疗器械工程中心 |
| 摘 要： | 基于ABAQUS有限元分析软件,对金属互连线的蠕变行为进行了研究,获取了高温下的蠕变应力分布云图,并分析了不同温度、不同升温速率等参数对铝硅合金互连线蠕变行为的影响规律。结果表明:在温度载荷作用下,铝硅合金互连线的蠕变应力在互连线狭窄部位即尺寸突变的部位,呈现明显的应力集中现象;随着温度载荷的升高,互连线内部的蠕变应力值逐渐增大,且二者之间的关系近似为一条直线;在其他条件均相同的情况下,升温速率越快,互连线内部应力达到最大值所用的时间就越短,导致互连线承受高应力值的时间就越长,从而会加速部件的失效。 |
| 关 键 词： | 蠕变 互连线 电迁移 影响规律 有限元分析 失效 |
Research on high temperature creep behavior of metal interconnects during electromigration |
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| Keywords: | |
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