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基于L型悬臂梁的光纤光栅加速度传感器
引用本文:张绪成,孙志慧,杨元元,刘小会,王昌.基于L型悬臂梁的光纤光栅加速度传感器[J].光电子.激光,2021,32(7):696-702.
作者姓名:张绪成  孙志慧  杨元元  刘小会  王昌
作者单位:齐鲁工业大学山东省科学院,山东济南250000
基金项目:山东省重大科技创新工程项目(2019JZZY010113)、济南市高校二十条(2020GXRC010)、山东省泰山学者工程项目 (tsqn20161061)、院地产学研基金(2019-CXY4)、院科教产融合项目(2020KJC-CG01)、济南市创新团队项目(2019GX RC028)、山东省重点研发计划项目(2019GGX104030)和院科教产融JMRH项目(2020KJC-ZD17)资助项目 (齐鲁工业大学 山东省科学院,山东 济南 250000)
摘    要:为了测量低频小信号,提出了一种基于L型悬臂梁的光纤光栅(FBG)加速度传感器, 并进行了理论分析,推导出了其灵敏度及谐振频率表达公式。为了得出结构的最优参数,根 据理论公式进行了仿真分析得出仿真曲线。根据仿真曲线,选定传感器各个参数,制作出传 感器实物,分别对传感器灵敏度幅频响应,线性响应及横向抗干扰性进行了实验测试,实验 测试出传感器谐振频率280 Hz,在充装硅油阻尼后测量带宽为1Hz- 240 Hz,测量带宽内响应 曲线平坦度在±1.5 dB以内,灵敏度可达到52 pm/g,线性相关性为99.97%,与理论谐振频 率290 Hz,灵敏度59 pm/g较吻合,表明了理 论分析的正确性,同时传感器具有较好的横向 抗干扰性,横向抗干扰性为4.2%,研究表明此传感器可以应用于低频 小信号场合的振动测试。

关 键 词:传感器  加速度传感器  L型悬臂梁
收稿时间:2021/1/1 0:00:00

Fiber Bragg grating accelerometer based on L-shaped cantilever beam
ZHANG Xucheng,SUN Zhihui,YANG Yuanyuan,LIU Xiaohui and WANG Chang.Fiber Bragg grating accelerometer based on L-shaped cantilever beam[J].Journal of Optoelectronics·laser,2021,32(7):696-702.
Authors:ZHANG Xucheng  SUN Zhihui  YANG Yuanyuan  LIU Xiaohui and WANG Chang
Affiliation:Laser Institute,Qilu University of Technology,Jinan,Shandong 25000,China,Laser Institute,Qilu University of Technology,Jinan,Shandong 25000,China,Laser Institute,Qilu University of Technology,Jinan,Shandong 25000,China,Laser Institute,Qilu University of Technology,Jinan,Shandong 25000,China and Laser Institute,Qilu University of Technology,Jinan,Shandong 25000,China
Abstract:
Keywords:sensor  acceleration sensor  L-shaped cantilever beam
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