| 内腔室结构对氧气传感器的性能影响研究 |
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| 引用本文： | 程迎国,周明军,郝玉芳,朱保峰,刘智敏. 内腔室结构对氧气传感器的性能影响研究[J]. 传感器与微系统, 2010, 29(10) |
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| 作者姓名： | 程迎国 周明军 郝玉芳 朱保峰 刘智敏 |
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| 摘 要： | 介绍了一种制作陶瓷内腔室的工艺方法,该方法可以应用于制作氧化锆氧气传感器内部的气体腔室,包含极限电流氧气传感器、分压型氧气传感器等,并可以对腔室体积自由控制,屏弃了传统方法利用玻璃封接来实现的工艺步骤.以极限电流氧气传感器为例,研究了内腔室结构对传感器的性能影响,对提高氧气传感器的响应时间和可靠性具有指导意义.
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| 关 键 词： | 氧气传感器 极限电流 气体内腔室 |
Research on influence of inner chamber structure on function of oxygen sensor |
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| CHENG Ying-guo,ZHOU Ming-jun,HAO Yu-fang,ZHU Bao-feng,LIU Zhi-min. Research on influence of inner chamber structure on function of oxygen sensor[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2010, 29(10) |
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| Authors: | CHENG Ying-guo ZHOU Ming-jun HAO Yu-fang ZHU Bao-feng LIU Zhi-min |
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