| 纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究 |
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| 引用本文： | 沈思国,丁建宁,潘海彬,凌智勇,程广贵,范真.纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究[J].传感器与微系统,2010,29(10). |
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| 作者姓名： | 沈思国 丁建宁 潘海彬 凌智勇 程广贵 范真 |
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| 基金项目： | 江苏省科技支撑计划资助项目 |
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| 摘 要： | 利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛-梁-膜结构.利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点.
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| 关 键 词： | 纳米硅薄膜 超微压压力传感器 结构 性能 |
Design and performance study on nano-silicon thin-film ultramlniaturen oressure Sensor |
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| SHEN Si-guo,DING Jian-ning,PAN Hai-bin,LING Zhi-yong,CHENG Guang-gui,FAN Zhen.Design and performance study on nano-silicon thin-film ultramlniaturen oressure Sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(10). |
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| Authors: | SHEN Si-guo DING Jian-ning PAN Hai-bin LING Zhi-yong CHENG Guang-gui FAN Zhen |
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