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相干公司最新推出IndyStar2kHz准分子激光器
摘    要:相干公司最新推出IndyStar 2 kHz准分子激光器,已完全通过Semi S2认证,采用了几种新的输出稳定化技术以促进T艺提高.使其成为半导体制造、测试、检验以及微加工等应用的理想选择。

关 键 词:准分子激光器  相干  半导体制造  稳定化技术  Semi  微加工
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