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振动式微机械陀螺的电学模拟
引用本文:黄小振,熊斌,车录锋,王跃林.振动式微机械陀螺的电学模拟[J].功能材料与器件学报,2002,8(1):59-62.
作者姓名:黄小振  熊斌  车录锋  王跃林
作者单位:中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室,上海 200050
基金项目:国家重点基础发展规划项目《集成微光机电系统研究》的资助(No.G1999033101)
摘    要:根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型,并利用电路模拟工具对其进行了模拟。利用电路模拟结果,分析了陀螺的运动特性。利用这个电学模型,可以与接口电路混合模拟,优化检测电路的设计。

关 键 词:振动式  微机械陀螺  电学模拟  等效电学模型
文章编号:1007-4252(2002)01-0059-04
修稿时间:2000年12月28

Electrical analogue of the vibrating micromachined gyroscope
HUANG Xiao-zhen,XIONG Bin,CHE Lu-feng,WANG Yao-lin.Electrical analogue of the vibrating micromachined gyroscope[J].Journal of Functional Materials and Devices,2002,8(1):59-62.
Authors:HUANG Xiao-zhen  XIONG Bin  CHE Lu-feng  WANG Yao-lin
Abstract:An equivalent electrical analogue of vibrating micromachined gyroscope was derived from its dynamics model and simulated using EDA tools. The performance of the gyroscope was analyzed by the circuit-simulating. Using this electrical analogue in the design of interface circiut of gyroscope, the design of the sensing circuit can be optimized.
Keywords:micromachined gyroscope  equivalent electrical analogue  simulation  
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