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| 类金刚石膜结构的红外分析 | |
| 作者姓名： | 程宇航 孙育斌 |
| 作者单位： | 华中理工大学材料科学与工程系 |
| 基金项目： | 华中理工大学塑性成形模拟及模具技术国家重点实验室资助 |
| 摘 要： | 采用直流－射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜，用Ｆｏｕｒｉｅｒ秀昨吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究，类金刚石膜中大部分碳原子以ｓｐ＾３组态存在，结合在膜中的氮原子与碳原子之间可形成ｓｐ＾３Ｃ－ＣＨ２，ｓｐ＾３Ｃ－ＣＨ３和ｓｐ＾２Ｃ－ＣＨ２基，其含量以ｓｐ＾３Ｃ－ＣＨ２，增加Ａｒ气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响，是相似的，增大极板负偏压或Ａｒ气的含量将减小类金刚石膜中ｓｐ |
| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 结构 红外光谱 气相沉积 |
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