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| 定量会聚束电子衍射:Ⅰ.研究动态 | |
| 作者姓名： | 冯方 张爱华 朱静 |
| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系,北京,100084;清华大学材料科学与工程系,北京,100084;清华大学材料科学与工程系,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 摘 要： | 本文介绍了一种在材料研究和半导体器件分析等领域中常用的结构分析技术--定量会聚束电子衍射术.主要介绍会聚束电子衍射方法的简史及近况、定量会聚束电子衍射的特点和发展方向.同时,简述了定量会聚束电子衍射技术在材料科学研究中的应用和实验的基本过程. |
| 关 键 词： | 会聚束电子衍射 结构分析 定量会聚束电子衍射 QCBED |
| 文章编号： | 1000-6281（2007）02-0090-07 |
| 修稿时间： | 2007-01-08 |
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