圆光栅刻划误差的自动校正

指出了提高圆光栅刻划精度的途径，并给出刻划误差自动校正的方法，通过对误差差源的分析，找出主要误差的变化工导出其数学表达式，利用微机控制的专门装置，使光栅在刻地转动一个附加角度，从而自动校正刻划误差。