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| 翘板式射频MEMS开关的研究 | |
| 引用本文： | 刘茂哲,李全宝,焦斌斌,高超群,罗小光,景玉鹏,叶甜春. 翘板式射频MEMS开关的研究[J]. 微纳电子技术, 2008, 45(5): 282-286 |
| 作者姓名： | 刘茂哲 李全宝 焦斌斌 高超群 罗小光 景玉鹏 叶甜春 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院微电子研究所,硅器件与集成技术研究室,北京,100029 2. 中国科学院微电子研究所,硅器件与集成技术研究室,北京,100029;山东大学物理与微电子学院,济南,250100 3. 中国科学院微电子研究所,硅器件与集成技术研究室,北京,100029;长春理工大学理学院,长春,130000 |
| 基金项目： | 中国科学院微电子所所长基金 |
| 摘 要： | 提出了一种新型的翘板式静电射频微系统开关,给出了理论模拟,结构分析结果和工艺制作方法。该结构采用了5μm厚的无应力单晶硅作为开关的可动部分,可以缓解薄膜应力变形。翘板式结构解决了传统静电设计中动作力弱的问题,并且通过调整支点解决了开关回复力不可调的难题。利用该结构可以在保持高隔离度的同时使驱动电压降低,有限元理论模拟驱动电压为5~10V;采用翘板式结构增加了开关的使用周期,而且结构自身具有单刀双掷特点,可以直接应用于高频通信的频道选择。给出了开关共面波导传输线的测试结果和设计讨论。 |
| 关 键 词： | 射频开关 单晶硅 微机电系统(MEMS) 静电驱动 驱动电压 共面波导(CPW) |
| 文章编号： | 1671-4776(2008)05-0282-05 |
| 修稿时间： | 2008-02-23 |
Study of a Seesaw-Lever RF MEMS Switch |
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| Liu Maozhe,Li Quanbao,Jiao Binbin,Gao Chaoqun,Luo Xiaoguang,Jing Yupeng,Ye Tianchun. Study of a Seesaw-Lever RF MEMS Switch[J]. Micronanoelectronic Technology, 2008, 45(5): 282-286 | |
| Authors: | Liu Maozhe Li Quanbao Jiao Binbin Gao Chaoqun Luo Xiaoguang Jing Yupeng Ye Tianchun |
| Abstract: | The simulation,design and fabrication of a seesaw type radio-frequency microelectromechanical system switch were proposed.The switch utilizes the single crystal silicon as the movable parts to realize flexible restoring forces and improve the stress deformation of the film.The seesaw structure resolves the problem of a small contacting force in the traditional electrostatic switch and makes the restoring force adjustable by controlling the fulcrum.It can be used to lower the actuation voltage with the high ... |
| Keywords: | radio-frequecy(RF) switch single crystal silicon microelectromechanical system(MEMS) electrostatic actuation actuatin voltage coplanar waveguide(CPW) |
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