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| 陶瓷衬底上淀积薄膜α—Fe2O3材料的微结构的气敏特性研究 | |
| 引用本文： | 柴常春,郭振琪.陶瓷衬底上淀积薄膜α—Fe2O3材料的微结构的气敏特性研究[J].无机材料学报,1996,11(3):493-498. |
| 作者姓名： | 柴常春 郭振琪 |
| 作者单位： | [1]西安电子科技大学微电子学研究所 [2]西北大学现代分析测试中心 |
| 摘 要： | 本文用常压化学气相沉积（ＡＰＣＶＤ）工艺在陶瓷衬底上成功地制备出了具有超粒结构的α－Ｆｅ３Ｏ３气敏薄膜，对所制备的薄膜进行了Ｘ射线衍射分析和扫描电子显微分析（ＳＥＭ），研究了淀积工艺条件对α－Ｆ３２Ｏ３薄膜的粒度的影响，气敏特性研究表明，用ＡＰＣＶＤ工艺轩的超微粒α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜对烟雾呈现出很高的灵敏度和良好的选择性。这种薄膜可用于感烟探测器。 |
| 关 键 词： | 微结构 氧化铁 气敏性 陶瓷薄膜 衬底 淀积 |
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