| 一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统 |
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| 引用本文： | 陈嘟,周肇飞,黄伟. 一种亚纳米级分辨力同轴式激光轮廓测量系统[J]. 四川大学学报(工程科学版), 2003, 35(1): 73-76 |
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| 作者姓名： | 陈嘟 周肇飞 黄伟 |
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| 作者单位： | 四川大学,制造科学与工程学院,四川,成都,610065 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(59235123)，国家重点实验室资助项目(4320401) |
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| 摘 要： | 分析了一种同轴式激光轮廓测量系统的工作原理,开发出了一套基于WINDOWS的测量控制软件,使它具有自动控制、数据采集、信息处理及结果输出等功能,可以用三维图形直观显示被测量物体表面微观形貌、进行多种表面粗糙度参数计算。此测量系统的分辨力优于0.1nm,重复性2σ优于1.2nm。
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| 关 键 词： | 亚纳米级分辨力 同轴式激光轮廓测量系统 轮廓仪 测量控制 数据处理 工作原理 超精密加工 |
| 文章编号： | 1009-3087(2003)01-0073-04 |
| 修稿时间： | 2002-06-18 |
Measuring System of Sub-nanometer Level Resolution Coaxal Interference Laser Profilometer |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-profiling system profilometer measuring control and data process |
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